特点:
➢ 性能和成本的最佳平衡,具有最佳性价比
➢ 低噪数字式轮廓传感器
➢ 宽范围无导头粗糙度传感器
➢ 大量程轮廓测量、微观轮廓度测量
➢ 宽范围粗糙度测量
➢ 高精度大量程粗糙度、高精度大量程轮廓测量的复合机型
技术参数
轮廓仪部分技术参数 | 线性精度1 | ≤土(0.8+|0.12H|) μ m |
圆弧2 | ≤士(1.5+R/12) μm |
角度3 | ≤土1' |
直线度4 | ≤0.5μm/100mm |
粗糙度部分技术参数 | 线性精度 | ≤土(5nm+2. 8%) |
残值噪声5 | ≤0.005μm |
重复性6 | 1δ≤1nm |
截止波长 | 0.025、0.08、 0.25、0. 8、2. 5、8mm |
评定长度 | λcX2、3、4、5、6、7 |
运动控制 | X轴驱动方式 | 电动 |
Z轴驱动方式 | 电动 |
X轴驱动速度 | 0.05~15mm/s |
Z轴驱动速度 | 0.2~15mm/s. |